深紫外光刻加上自對(duì)準(zhǔn)四重圖案化技術(shù)的解決方案是來(lái)自英特爾對(duì)制造工藝極限的開(kāi)拓，胡正明與梁孟淞在與英特爾交流合作fi之后基本確認(rèn)了可行性。

    他想了想，又補(bǔ)充道：“考慮到英特爾對(duì)工藝節(jié)點(diǎn)的劃分和實(shí)際的晶體管密度，我認(rèn)為10nm不是duv saqp方案的極限，7nm的可行性也很高。”

    就像現(xiàn)在英特爾的14nm與冰芯的16nm，兩者歸在同一階段，但前者的晶體管密度是每平方毫米大約3750萬(wàn)，后者的則是3000萬(wàn)，兩種工藝存在25%的差距。

    同一階段的節(jié)點(diǎn)，英特爾確實(shí)更強(qiáng)，由此，英特爾的duv saqp方案在10nm上的拓展或可展望其它廠商的7nm，但這就需要冰芯進(jìn)一步的研究與優(yōu)化了。

    方卓關(guān)切地問(wèn)道：“英特爾自己做10nm和7nm也都用這個(gè)方案嗎？”

    “看他們的意思……”梁孟淞沒(méi)想到方總會(huì)問(wèn)這樣的問(wèn)題，他停頓思考，答道，“之所以叫它過(guò)渡方案就是因?yàn)閑uv的成熟需要解決，英特爾的10nm大概會(huì)用這個(gè)，7nm怎么也應(yīng)該引入euv了?！?/br>
    方卓“嘖”了一聲。

    胡正明忍不住笑道：“還是euv好是吧，方總，有的用就不錯(cuò)了。”

    “確實(shí)，有的用就不錯(cuò)了?！狈阶空f(shuō)道，“單就制程工藝這一塊，我們的情況沒(méi)那么差?！?/br>
    胡正明努努嘴：“是的，這是我們的梁院士辛辛苦苦換來(lái)的?！?/br>
    因?yàn)楸究绱鷵尀┝薴i的16nm，所以，即便遭遇嚴(yán)厲限制，如今在工藝這一塊也能相對(duì)從容。

    業(yè)界如今對(duì)于先進(jìn)工藝的定義已經(jīng)在以28nm作為分界點(diǎn)，在它之前屬于成熟工藝，之后的自然就是先進(jìn)工藝。

    更不用說(shuō)冰芯的16nm，這是先進(jìn)中的先進(jìn)。

    也正因?yàn)檫@種先進(jìn)性，冰芯是不缺訂單的，哪怕完全供向國(guó)內(nèi)，也能把產(chǎn)能填滿，只是，上限被削弱了。

    冰芯過(guò)去這些年的快速發(fā)展得益于全球市場(chǎng)與供應(yīng)鏈的廣泛合作，這是一套已經(jīng)得到驗(yàn)證的行之有效的體系。

    但在今后，這套體系放在國(guó)內(nèi)就需要再經(jīng)驗(yàn)證，因?yàn)椋蠹叶疾粫?huì)停下腳步，冰芯仍需往前。

    “bis限制美利堅(jiān)企業(yè)對(duì)我們的出口，這一塊也還行，去美化是我們一直在做的，歐洲和日本廠商能保證競(jìng)爭(zhēng)力，問(wèn)題就在于，bis后續(xù)追加的措施會(huì)怎么擴(kuò)大范圍，一旦全面的限制，那就是一個(gè)很?chē)?yán)肅很?chē)?yán)肅的挑戰(zhàn)，我們需要保證我們的最低運(yùn)轉(zhuǎn)?！鼻翊仍普J(rèn)真地說(shuō)道。

    方卓沉吟道：“現(xiàn)在是美利堅(jiān)的出口，未來(lái)必然會(huì)是美利堅(jiān)擴(kuò)展到更大范圍，也必然會(huì)包括進(jìn)口，我現(xiàn)在還沒(méi)有進(jìn)一步的消息，實(shí)在不行，那就先苦一苦兄弟。”

    一旦限制范圍擴(kuò)大，冰芯面臨的狀況就會(huì)十分麻煩。

    比如，arf光刻膠，這是先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)不可或缺的核心材料之一，而全球市場(chǎng)是由日企壟斷了超90%的份額。

    更為關(guān)鍵的是，它是對(duì)光敏感的精密化學(xué)材料，保質(zhì)期一般在六個(gè)月之內(nèi)，囤貨也不好囤。

    一旦冰芯被斷供，生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)就遭受極大的影響。

    “中芯冰芯，同氣連枝，是吧？”邱慈云打趣道，“必要的時(shí)候從兄弟那里拆一拆機(jī)器，勻一勻材料，先把難關(guān)度過(guò)去?！?/br>
    方卓連連點(diǎn)頭，然也，然也。

    當(dāng)然，這話還是調(diào)侃居多，冰芯這次面臨限制，中芯還不知道后續(xù)會(huì)有什么狀況，它現(xiàn)在是技術(shù)不冒頭，但要是一拆機(jī)器，一勻材料，怕不是立即就冒頭了。

    “還是得看我們自己有沒(méi)有，能解決有的問(wèn)題，慢慢的就都行了。”胡正明說(shuō)道，“得看芯材那邊什么時(shí)候能突破，我們這個(gè)制程工藝的時(shí)間就是留給大家的。”

    今天這個(gè)情況是早有預(yù)期，上下游環(huán)節(jié)的問(wèn)題也自然都有詳細(xì)考慮，芯材公司是由冰芯牽頭，與南大光電、芯刻微材料等公司進(jìn)行光刻膠合作研發(fā)的技術(shù)子公司，拿到了大基金和小基金的錢(qián)，還算有一定的進(jìn)展。

    “辛苦張總了，回頭還得看看他的視察情況?！鼻翊仍普f(shuō)道。

    張汝京低調(diào)的成了冰芯的顧問(wèn)，這次面臨阿美嚴(yán)選，也就投入到產(chǎn)業(yè)鏈的視察與整合工作之中。

    邱慈云又說(shuō)道：“不管怎么樣，我們的工藝是先進(jìn)的，存貨也暫時(shí)是夠的，雖說(shuō)供應(yīng)商的技術(shù)支持得重新整備，但冰芯的戰(zhàn)斗力還在，反而是……方總，易科的全球市場(chǎng)更大?！?/br>
    冰芯對(duì)于今日情況已有預(yù)期，相關(guān)工作也一直在做，大小基金、產(chǎn)業(yè)整合、技術(shù)合作、查缺補(bǔ)漏，雖說(shuō)確實(shí)面臨許多問(wèn)題，但這次的阿美嚴(yán)選有點(diǎn)壓力測(cè)試的意思，必然會(huì)催動(dòng)一系列工作的加速。

    可是，與冰芯并肩戰(zhàn)斗的易科，它的龐大市場(chǎng)與產(chǎn)品成績(jī)……可能壓力更大。

    “人死鳥(niǎo)朝天，不死萬(wàn)萬(wàn)年?！狈阶柯柭柤?，“大有大的玩法，小有小的玩法，不要擔(dān)心，做不了世界的易科，那就當(dāng)國(guó)內(nèi)的諾基亞好了?！?/br>
    第201章 態(tài)度

    三月份的第二天，上海下了一場(chǎng)淅淅瀝瀝的小雨。

    春節(jié)的氣息猶在，元宵還沒(méi)到來(lái)，氣溫一到晚上也不過(guò)就是四五度，又有冷風(fēng)細(xì)雨撲在臉上，難免讓人感到寒意。

    但張汝京絲毫沒(méi)有這樣的感覺(jué)，他匆匆的從一間會(huì)議室走進(jìn)另一間會(huì)議室，心里轉(zhuǎn)著的都是當(dāng)前的狀況，既有行業(yè)大環(huán)境所面臨的問(wèn)題，也有眼前碰見(jiàn)的現(xiàn)實(shí)問(wèn)題。

    砰！

    門(mén)被一把推開(kāi)，冰涼的空氣卷進(jìn)辦公室讓眾人不自覺(jué)的都皺了皺眉。

    張汝京大步走進(jìn)來(lái)，嗓子有些嘶啞地問(wèn)道：“怎么樣了？現(xiàn)在商討的怎么樣？”

    沒(méi)人回答，只有重新彌漫起來(lái)的二手煙。

    張汝京到了辦公桌邊也不坐，直接一手按桌，傾著身子的再次說(shuō)道：“又不是讓你們?nèi)ジ蒭uv光刻膠，也不是立即把a(bǔ)rf搞好，一邊搞，一邊建，這就這么為難？”

    他這次來(lái)上海主要就是為了arf光刻膠研發(fā)的事情，如同他自己之前在琴島搞的大硅片一樣，高端光刻膠也是國(guó)內(nèi)比較欠缺的一環(huán)。

    雖說(shuō)如今還沒(méi)波及這個(gè)，但冰芯上了名單，后續(xù)極可能會(huì)被追加更嚴(yán)厲的措施。

    芯材公司是由大基金、冰芯、南大光電、晶瑞電材等公司聯(lián)合成立的技術(shù)研究公司，主要目標(biāo)就是取得arf光刻膠的突破。

    只是，但凡需要突破的東西都有難度，arf光刻膠在evu方案還沒(méi)落地商用的情況下就是最高端的精密化學(xué)材料，國(guó)內(nèi)這方面的廠商目前都沒(méi)什么苗頭。

    芯材是2012年成立，彼時(shí)也費(fèi)了不少功夫，這個(gè)環(huán)節(jié)的公司們本身存在競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系，聯(lián)合研發(fā)存在著利益分配的問(wèn)題。

    張汝京這一趟來(lái)之前問(wèn)了問(wèn)相關(guān)情況，從負(fù)責(zé)晶圓制造聯(lián)盟工作的秘書(shū)長(zhǎng)那邊得知，當(dāng)時(shí)是冰芯態(tài)度有一點(diǎn)點(diǎn)強(qiáng)硬的推動(dòng)了這個(gè)合作。

    冰芯在內(nèi)地半導(dǎo)體行業(yè)里有著相當(dāng)大的主導(dǎo)權(quán)，這既是它本身的技術(shù)水平，也是晶圓制造聯(lián)盟在金融危機(jī)后做了不少整合的幫忙。

    不管南大光電還是晶瑞電材，它們?cè)趦?nèi)地都繞不開(kāi)冰芯。

    再加上，方總2011年7月份進(jìn)行了事實(shí)上的部分的“同氣連枝”整合，冰芯加上中芯更是內(nèi)地半導(dǎo)體公司繞不開(kāi)的存在了。

    基于這種情況才有了“芯材”的誕生。

    從2012年到2015年的現(xiàn)在，芯材專注于arf光刻膠的研究，進(jìn)度上嘛，還算可以，多次進(jìn)行了小規(guī)模試驗(yàn)，調(diào)整的配方比例也在光化學(xué)反應(yīng)性能上有明顯的提升。

    只是，這種提升還達(dá)不到理想的狀態(tài)，等到走出實(shí)驗(yàn)室，擴(kuò)大到中試規(guī)模，工藝流程的工業(yè)化適應(yīng)性評(píng)估就出現(xiàn)了問(wèn)題。

    這便沒(méi)法大腳步的再往下走，況且，后面也有不少關(guān)隘，要搞長(zhǎng)時(shí)間存儲(chǔ)穩(wěn)定性和批次間一致性測(cè)試，要做晶圓廠兼容性驗(yàn)證，必須得確保光刻膠和冰芯的生產(chǎn)工藝無(wú)縫對(duì)接，還得做大量重復(fù)性與可靠性測(cè)試。

    如此這些，最后還要建立穩(wěn)定的生產(chǎn)工藝，保證大規(guī)模生產(chǎn)的每一批次的光刻膠性能一致。

    “芯材走在了正確的路上?！?/br>
    這是來(lái)自晶圓制造聯(lián)盟的評(píng)價(jià)。

    可惜，眼下的局面略顯急迫。

    阿美嚴(yán)選的壓力已經(jīng)施加過(guò)來(lái)，后續(xù)追加措施也隱約可見(jiàn)，鑒于如此形勢(shì)，冰芯希望“芯材”可以先進(jìn)行廠區(qū)的投資與建設(shè)，只要arf出了成果，初期的成本高一些都沒(méi)問(wèn)題。

    但是，南大光電、晶瑞電材等參與研發(fā)的公司不太想同意這樣的冒進(jìn)。

    “張總，我們的上一次測(cè)試結(jié)論已經(jīng)出來(lái)了，現(xiàn)有工藝不適合大規(guī)模生產(chǎn)，現(xiàn)在最重要的還是找出問(wèn)題，看看怎么精細(xì)調(diào)整配方中的各組分比例，不然沒(méi)法保持相同的化學(xué)性質(zhì)和光刻性能……這個(gè)時(shí)候說(shuō)什么建廠不建廠……”南大光電駐芯材的研發(fā)組長(zhǎng)李亞磊吞吞吐吐地說(shuō)道，“不合適啊。”

    張汝京一皺眉，沒(méi)等反駁就聽(tīng)到另一家企業(yè)負(fù)責(zé)人晶瑞電材伍彥杰的聲音。

    “是啊，張總，咱們這個(gè)不適合大上快上，后面做驗(yàn)證的過(guò)程里本來(lái)就容易存在未知數(shù)，我理解冰芯的急切，可是，這事，它急不得??！”伍彥杰苦口婆心。

    張汝京聽(tīng)到這兩位的話，又見(jiàn)辦公室里的其他人不出聲，他緩緩說(shuō)道：“建廠不耽誤你們尋找問(wèn)題，調(diào)整配方，你們搞你們的，現(xiàn)在就是合資建廠，兩線并舉?！?/br>
    伍彥杰見(jiàn)老頭冥頑不靈，無(wú)奈道：“張總，這又不是你的中芯，不能搞大上快上啊，搞不出來(lái)合適的產(chǎn)品，廠子沒(méi)效益，你們財(cái)大氣粗，我們不行啊。”

    中芯當(dāng)年的發(fā)展速度很快，搞出了多地布局的戰(zhàn)略，后來(lái)隨著與臺(tái)記官司的敗訴，又碰見(jiàn)金融危機(jī)，不得不割rou收縮。

    張汝京沒(méi)有生氣，耐著性子地說(shuō)道：“形勢(shì)不一樣了，芯材做了兩年多，晶圓制造聯(lián)盟幫忙找資源，冰芯和大基金跟著投錢(qián)，那時(shí)候可以慢慢搞，現(xiàn)在不知道什么時(shí)候就被下絆子，不光你們這，其它的替代公司都是這樣，我知道你們的心情，也知道你們各自公司有著自己的想法，但我還是得說(shuō)，形勢(shì)不一樣了。”

    伍彥杰不說(shuō)話，現(xiàn)在研發(fā)的arf主要是冰芯需要，自家的主力業(yè)務(wù)是在做g線和i線光刻膠，arf固然先進(jìn)，但是，自家業(yè)務(wù)先做好才能繼續(xù)往下展望。

    張汝京見(jiàn)沒(méi)人表態(tài)，再次緩緩說(shuō)道：“如果建廠并行的意見(jiàn)沒(méi)人同意，大概就是‘芯材’這樣聯(lián)合研發(fā)的路子走不通，我也不是逼各位，實(shí)在不行，我明天就回合肥復(fù)命，這個(gè)還必須是冰芯自己下場(chǎng)做，我就不信，人家16nm都搞出來(lái)了，世界第一都搞出來(lái)了，這材料上面的事搞不定！”

    他說(shuō)著說(shuō)著又情不自禁的激憤起來(lái)。

    “哎，哎，張總，你坐，你坐，我們一起研究嘛?！蹦洗蠊怆姷睦顏喞诼?tīng)到張總這樣的表態(tài)，出聲勸道，“張總，反正我不是那個(gè)意思，我只是覺(jué)得可以不用那么急，急也未必有用，冰芯就算把‘芯材’買(mǎi)回去，它能做一個(gè)arf光刻膠，它能把所有的東西都做了嗎？這事還是大家一起的事?！?/br>
    “冰芯能做什么，它就做什么，它能做一個(gè)，那就做一個(gè)。”張汝京冷著臉，說(shuō)道，“不行就別加盟，直接改直營(yíng)?！?/br>
    李亞磊轉(zhuǎn)了轉(zhuǎn)眼珠，這個(gè)說(shuō)法倒是很形象。

    他給了一個(gè)稍微強(qiáng)點(diǎn)的表態(tài)：“張總，我現(xiàn)在就再打電話，再和公司聊聊這個(gè)事，這建在哪，怎么建，研發(fā)和生產(chǎn)怎么分……都是事啊?！?/br>
    辦公室里響起一陣應(yīng)和聲，都是事，都是事啊。

    張汝京默許了這樣的態(tài)度，某種程度上，也沒(méi)錯(cuò)。

    只是，當(dāng)他結(jié)束這間辦公室里的討論，給方總打電話時(shí)還是難免失望：“芯材這邊……真是各有各的小心思！就差沒(méi)說(shuō)，是冰芯上了名單，不是他們上名單！”

    “哎，張總，你看你，度君子之腹了吧?！狈阶繘](méi)有為轉(zhuǎn)述的情況而憤怒，反而笑道，“你這通電話之前，我還接到電話呢，好些個(gè)廠商都跟我表態(tài)，這次一定和冰芯共進(jìn)退。”

    張汝京立即問(wèn)道：“都有誰(shuí)？”

    方卓說(shuō)了幾個(gè)廠商的名字，又笑道：“他們挺雀躍的，這是機(jī)會(huì)來(lái)了啊，冰芯受限，這必須讓備胎轉(zhuǎn)正，大家的機(jī)會(huì)很多。”

    張汝京聽(tīng)著這樣的話，嘆道：“你也沒(méi)好到哪去，也沒(méi)少度君子之腹?！?/br>
    第202章 果決

    張汝京這一趟在上海的工作實(shí)在談不上順利。

    連續(xù)數(shù)天，即便他已經(jīng)把話說(shuō)的很明白，即便他也傳遞了這是國(guó)內(nèi)企業(yè)好機(jī)會(huì)的態(tài)度，但……數(shù)家光刻膠公司仍舊躊躇不前。

    其實(shí)，張汝京也明白大家的考慮，一個(gè)是夢(mèng)想，一個(gè)是現(xiàn)實(shí)。

    現(xiàn)實(shí)是，國(guó)內(nèi)的光刻膠和國(guó)際先進(jìn)水平存在很大差距，不要說(shuō)arf光刻膠了，就連g線和i線光刻膠的自給率都不到20%，而krf光刻膠也不到5%。

    基于這種情況，南大光電、晶瑞電材等公司不愿意再投入更多精力和資源，想著聚焦于g線、i線、krf光刻膠也能理解。

    可是……看看“芯材”這兩年多的研發(fā)進(jìn)展，真的不是沒(méi)有機(jī)會(huì)，即便未必能在近期突破，中長(zhǎng)期也是有大作為的。

    易科系不缺錢(qián)，阿美的壓力測(cè)試一來(lái)，自然也會(huì)掀起新一輪查缺補(bǔ)漏式的研發(fā)。

    這樣的機(jī)會(huì)不用好就太可惜了。

    當(dāng)然，最好的還是近期能有所突破，那就能幫上大忙。

    張汝京懷揣著這樣的心情，一家廠商一家廠商的談，一個(gè)負(fù)責(zé)人一個(gè)負(fù)責(zé)人的聊，但一直到3月5號(hào)又一次攢局開(kāi)會(huì)，仍舊拿不到正向的表態(tài)。

    5號(hào)的下午，他接到來(lái)自合肥的電話，得到晶圓制造聯(lián)盟的通知，已經(jīng)可以前往琴島了。

    也就是，芯材這邊換方案了。