第二百九十九章 研發(fā)中的第四代光刻機
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溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室,來到光學部地下三層。 在那里,溫成嶺見到了一部機器,一部驗證原型機,型號為超光刻初代。 “這是一臺光刻機?” 溫成嶺停下腳步,疑惑的問,同時露出震驚的表情。 商用型號光刻機會進行外包裝,而這臺是初代機,所以內(nèi)部元器件都是裸露在外的,透過落地玻璃,可以一覽無余。 溫成嶺震撼于這臺機器的設(shè)計,它個體很大,擁有多達六個機臺,其中三個是測量機臺,另外三個是標準曝光臺。 更多機臺可以提高光刻機的工作效率,每小時產(chǎn)出更多硅片。 然而增加機臺的同時,也對機械結(jié)構(gòu)以及機臺的減震能力,提出了更高要求,難度系數(shù)呈幾何倍數(shù)增加,所以絕大多數(shù)光刻機的機臺都只有兩個。 光刻機是半導體領(lǐng)域的皇冠,需要無塵環(huán)境,此刻羅佳他們站在實驗室外面,隔著一層玻璃。 “要不要進去看一看?”羅佳問道。 “真的可以嗎?”溫成嶺微微一怔,顯得非常激動。 “當然了,我們?nèi)Q防塵服?!绷_佳笑著說。 溫成嶺在北美上學和工作的年代,中美關(guān)系還不像如今這樣緊張,所以他是識貨的,在斯坦福大學的實驗室里,見過許多光學領(lǐng)域最前沿的科技。 時至今日,北美方面已經(jīng)不允許華夏留學生,進入關(guān)鍵性科技領(lǐng)域?qū)W習了,以防止技術(shù)外泄,半導體,生命科學,航空航天,都屬于被禁的領(lǐng)域。 但溫成嶺雖然見多識廣,卻從未見過這樣夸張的光刻機設(shè)計,一臺機器,同時在六個機臺上展開自動作業(yè),效率應(yīng)該會非常高吧。 溫成嶺一邊換上白色防塵服,一邊暗暗在心里想,世界科技史上,從來就不缺乏精彩絕倫的創(chuàng)意,然而把創(chuàng)意變?yōu)楝F(xiàn)實,卻是非常困難的,星辰科技的初代機,應(yīng)該還是用來做驗證,完成度應(yīng)該不會太高才對。 光刻機這個東西難到了什么程度呢? 世界只有一家公司能做euv,也就是荷蘭al。 紫外光時代,球有上百家企業(yè)出沒在光刻機領(lǐng)域,那個時候真可謂百花齊放,精彩紛呈。 然而好景不長,隨著深紫外光技術(shù)的推出,原本一百多家制造光刻機的企業(yè),銳減到三家,除了佳能,尼康,al之外,其他所有企業(yè)部慘遭淘汰。 從這也不難看出,一次技術(shù)進步,會給行業(yè)帶來多么嚴重的洗牌。 所有人都死了,還活著的三家自然賺的盆滿缽滿,他們吃著火鍋,唱著歌,大把鈔票自然就來了,生活簡直不要太愜意。 可惜時間又過了幾年,隨著半導體技術(shù)不斷推陳出新,深紫外光刻也漸漸變的力不從心。 于是光刻機領(lǐng)域開始了第二輪技術(shù)競賽,而這次技術(shù)競賽的結(jié)果,是佳能和尼康出局,荷蘭al成為最后的贏家。 球唯一能夠制造極紫外euv光刻機的超級怪獸,就此誕生! 這樣的慘烈競爭,簡直可怕! 要知道,尼康和佳能絕不是吃素的,他們都是這個世界上最厲害的光學企業(yè)。 一說起他們兩家,普通人會馬上想到數(shù)碼相機,各種鏡頭之類的民用產(chǎn)品,但尼康和佳能最強大和最賺錢的并不是民用領(lǐng)域,而是醫(yī)療器械。 當你去醫(yī)院里,花一千來塊錢拍個t的時候,所用的設(shè)備,很可能就是佳能或者尼康制造的,要不然就是理光,西門子,日立。 而一臺t設(shè)備的售價,高達上千萬元,僅僅華夏地區(qū),就有上萬套t設(shè)備,部來自進口,你猜這些年來,霓虹醫(yī)療器械巨頭,從華夏賺走了多少錢? 再說,你買了一臺t機并不算完,配套軟件,設(shè)備檢修,各種耗材,也是要花錢從霓虹人手里買。 總而言之,佳能和尼康是極其厲害的企業(yè),光學領(lǐng)域扛鼎的存在,卻依然慘敗給荷蘭al,足以看出這個行業(yè)的門檻不是高,而是高到了天上。 荷蘭al也不是什么無名小卒,它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學,他們用的物鏡,來自球鏡片領(lǐng)域第一大牛,德國卡爾蔡司。 可以說,集合整個歐洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了al這個怪物。 在過去,al是沒有對手的,直到星辰科技出現(xiàn)。 羅佳異想天開,決定彎道超車,繞過由紫外光,深紫外光,極紫外光組成的前三代核心技術(shù),直接進入光刻機的第四代,超紫外混合激光,這其中的難度,外行人是永遠無法明白的。 唰~ 溫成嶺正思考著,實驗室的密封門忽然在他面前打開了。 他笑了笑,在進入實驗室之前對羅佳認真的說道:“羅總,我的專業(yè)是激光,也自信能夠搞定光刻機的光源問題,但您應(yīng)該也知道,一臺光刻機僅僅有光源是不夠的,其他數(shù)以千計的核心零部件,我可就無能為力了。” 這算是給羅佳打預防針了,他說這話的意思是,我能幫你把超紫外混合激光搞出來,但激光之外的事情,我也是無能為力,還要看星辰科技自己的力量。 羅佳只是點頭笑了笑,并沒有說什么。 兩個人很快來到這臺機器跟前,羅佳淡淡的說,“這就是我們的初代機,它共分為十三大結(jié)構(gòu),分別是激光發(fā)生器,光束矯正器,能量控制器,光束形狀調(diào)整器,遮光器,能量探測器,掩膜版,掩膜臺,物鏡,測量臺,曝光臺,封閉框架,磁懸浮減震?!?/br> 羅佳指著機器,介紹這臺復雜的組成。 雖然聽名字似乎很簡單,但就算用腳后跟想也能明白,作為半導體行業(yè)的王冠,又怎么可能簡單呢。 就拿這臺光刻機的物鏡來說,如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西,那就完錯了。 al公司euv型光刻機采用的物鏡,高達一米八四,寬度接近七十公分,是德國光學巨頭卡爾蔡司集團,與激光巨頭亞琛集團聯(lián)合制造的。 物鏡多少錢? 抱歉,無論羅佳掏多少錢,都買不到這套物鏡。 從成本的角度估算,這套物鏡的成本應(yīng)該在一千萬美元左右,其復雜程度和精確程度,足以被寫入光學發(fā)展史。 羅佳給溫成嶺看的,就是這么個東西,它巨大而精密,充滿科幻電影般的未來感。 而且al的euv是第三代,羅佳這個是第四代,超紫外光,技術(shù)復雜程度還要更高。 “你們竟然已經(jīng)做到了這種程度?。俊睖爻蓭X激動的瞪大眼睛,發(fā)出不可思議的聲音。 剛才距離遠,又隔著玻璃,所以沒太看清楚,還以為是個樣子貨。 如今走進無塵實驗室里,溫成嶺才恍然發(fā)覺,這臺四代光刻機的完成度,已經(jīng)如此之高!