第260章 突破14nm光刻機(jī)工藝
華達(dá)九天興師動(dòng)眾的招聘啟事并沒有引起業(yè)界轟動(dòng),因?yàn)閑da的盤子實(shí)在是太小了。 2021年,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)銷售額達(dá)5188億美元,然而作為芯片基礎(chǔ)的eda產(chǎn)業(yè)卻只有區(qū)區(qū)70億美元左右,簡直令人難以置信。 而中國eda銷售額在這70億美元里面,更是連1%都沒有占到。 這種情況下,外國巨頭根本懶得關(guān)心中國eda的發(fā)展情況。 就算再折騰又能怎么樣? 而且話說回來了,要知道任何eda軟件都是和市場(chǎng)掛鉤的,eda是上游廠商、設(shè)計(jì)廠商、制造廠商、封測(cè)廠商合作的產(chǎn)物,任何一個(gè)環(huán)節(jié)落后或缺失,都會(huì)對(duì)eda工具有影響。 舉個(gè)最簡單的例子,國外最先進(jìn)的eda軟件可以設(shè)計(jì)、仿真、驗(yàn)證5nm甚至3nm的芯片,國內(nèi)的eda呢?目前還徘徊在28nm左右,差距就像地球到月球這么遠(yuǎn)。 就在國外eda企業(yè)不以為然之際,中國的eda軟件,在時(shí)隔三十年后,再次揚(yáng)帆起航了。 …… 4月18號(hào)上午九點(diǎn),中海自貿(mào)區(qū)張東路1525號(hào)。 這里是中海微電子裝備有限公司(smee)總部,同時(shí)中星微電子裝備股份有限公司(xhzz)研發(fā)基地也設(shè)立在這里。 此時(shí),單層面積超過5000平方米的大型實(shí)驗(yàn)室里,無數(shù)身穿白色無塵服的研究員正在忙碌著,還有很多類人機(jī)器人也在自由的穿梭其中,帶給人一種科幻大片現(xiàn)場(chǎng)的視覺沖擊! 就在這時(shí),實(shí)驗(yàn)室挑高的二層參觀臺(tái)上涌出一大群人,老中青都有。 被眾人簇?fù)碓谧钋懊娴娜朔謩e是gwy下來考察調(diào)研的首長,smee董事長孫立群以及陳序。 孫立群介紹道:“這些機(jī)器人全部是星??萍佳邪l(fā)制造的特種工業(yè)機(jī)器人…… 光源系統(tǒng)、攝像光學(xué)系統(tǒng)、調(diào)焦掃描系統(tǒng)、視頻采集系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)軟件等等,也是由星??萍吉?dú)家研發(fā),并且擁有全部知識(shí)產(chǎn)權(quán)……” “了不起啊!難怪網(wǎng)上都說星海是中國科技的未來之星?!?/br> 陪同著一起超前的陳序,謙虛道:“總l過獎(jiǎng)了,我們還有很多不足的地步。” 首長親切的拍拍他肩膀,然后順著參觀臺(tái)上設(shè)立的透明甬道朝前走去,邊走邊看,同時(shí)問道:“那目前主要還有哪些困難呢?” “主要就是機(jī)械精度方面有待提高…它里面有兩個(gè)同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái),一個(gè)載底片,一個(gè)載膠片,兩者需要始終同步,誤差要在2nm以下,而兩個(gè)工作臺(tái)由靜到動(dòng),加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多……” 孫立群搶著介紹了一番后,首長轉(zhuǎn)頭問右側(cè)的陳序,“小陳你估計(jì)多長時(shí)間能研制成功?” 陳序組織了一下語言說:“如果一切順利的話,大概今年底吧!” 說完陳序又跟到:“因?yàn)槭堑谝淮巫鰶]經(jīng)驗(yàn),再加上一些關(guān)鍵性的零部件被卡了脖子,只能通過自主研發(fā)。不過等到7nm時(shí)應(yīng)該會(huì)很輕松?!?/br> 首長聞言有些訝異道:“7nm?” 孫立群再次搶著介紹道:“總l您沒聽錯(cuò),正是7nm。 我們和星海在研發(fā)14nm以及10nm的同時(shí)也在布局7nm,而且我們的7nm技術(shù)跟國外的稍稍有些不同……” 首長聽完后點(diǎn)點(diǎn)頭,再次伸手拍拍陳序的手臂,“嗯,你是好樣的!” 陳序被夸的有些不好意思了,呵呵笑著沒說話。 一個(gè)小時(shí)后,下來考察調(diào)研的領(lǐng)導(dǎo)及隨行人員乘坐考斯特離開了,陳序回到辦公室直接癱坐在了沙發(fā)里,說:“感覺比做十天實(shí)驗(yàn)還累?!?/br> 跟進(jìn)來的中星微電子總負(fù)責(zé)人張海春,笑呵呵道:“一般搞學(xué)術(shù)的人,都不怎么喜歡這種場(chǎng)合,等以后習(xí)慣了應(yīng)該會(huì)好一些?!?/br> 張海春是光刻機(jī)領(lǐng)域的大牛級(jí)人物,曾先后在asml及臺(tái)積電工作,甚至還被smee聘請(qǐng)為高級(jí)總工程師,不過后來因?yàn)槟承┰螂x職了。 他在國際學(xué)術(shù)圈的地位比周東林還牛掰。 “呵呵,也許吧。”陳序說著坐起來點(diǎn)了一根煙,“超精密工件臺(tái)的實(shí)驗(yàn)怎么樣了?” “不怎么理想,目前實(shí)驗(yàn)最多只能到5nm,距離要求的2nm還有一定的差距,德國跟日苯那邊……” 陳序聽了一會(huì),然后一把把香煙摁滅,起身道:“走,帶我過去看看?!?/br> 光刻機(jī)和別的設(shè)備不一樣,它里面大部分零部件都需要專門定制。 什么意思呢,就是你想在市場(chǎng)上買配件來組裝都不可能。 而越高端定制的比例也越高,到了10nm這個(gè)級(jí)別,里面90%以上都是定制的。 且不是你想定制就能定制的,得看上游廠商愿不愿意接你的訂單。 他之前花高價(jià)從荷蘭買配件,就是因?yàn)槟切┡浼绻孔约荷a(chǎn)的話,先不說短時(shí)間能不能生產(chǎn)出來,就算能做出來,價(jià)格也要貴上十倍都不止! 不過以后不行了,歐美日韓對(duì)星海進(jìn)行了全面的技術(shù)封鎖,荷蘭那邊已經(jīng)pass掉xhzz的訂單申請(qǐng)。 不僅僅是荷蘭,德國跟日苯那邊的零部件訂單也毀約了,導(dǎo)致最關(guān)鍵的超精密工件臺(tái)一直不能達(dá)到滿意要求。 來到實(shí)驗(yàn)室,陳序控制機(jī)器人調(diào)校超精密工件臺(tái),而小白則根據(jù)電腦上的反饋結(jié)果重新編寫控制程序。 一遍、兩遍、十遍…… 這一做就是十二小時(shí),餓的實(shí)在撐不住了才出去吃一點(diǎn),然后繼續(xù)全身心的投入到實(shí)驗(yàn)中來。 超精密機(jī)械的調(diào)校是非常耗費(fèi)時(shí)間精力的,像米國cymer、德國蔡司的工程師對(duì)每一個(gè)部件的調(diào)校次數(shù)都有可能高達(dá)十年以上。 當(dāng)然,陳序不可能像那些工程師一樣,花費(fèi)十年去調(diào)校一個(gè)零部件,也不需要。 小白會(huì)幫他省去百分之九十九的步驟。 半個(gè)月后,經(jīng)過陳序廢寢忘食的工作,把超精密工件臺(tái)的精度調(diào)校到了3nm。 這是一個(gè)具有里程碑紀(jì)念意義的時(shí)刻! 因?yàn)?nm的超精密工件臺(tái)已經(jīng)滿足了14nm光刻機(jī)的制備工藝要求。 從這一刻起,中國算是全面掌握了14nm光刻機(jī)的制造技術(shù)。 上百名工程師全部圍了過來,看著模擬機(jī)上的超精密工件臺(tái)高速運(yùn)行著,很多人眼睛里泛起了淚花。 偌大的實(shí)驗(yàn)室里響起了熱烈的掌聲。 “啪啪啪……” 多少年了,中國一直嚷著制造“中國芯”,但是因?yàn)樵觳怀鰜砑舛斯饪虣C(jī),這個(gè)夢(mèng)想只能停留在幻想之中。 在機(jī)械、通訊設(shè)備、企業(yè)金融、航空航天等核心領(lǐng)域,不得不大量采用國外的芯片。 而眾所周知,芯片是可以開后門的,而且是非常容易的事情。 最危險(xiǎn)的就是只要不拔電池,通過芯片后門你所有的動(dòng)作、所有的信息別人都可以輕易獲取,而且你還不知道。 舉個(gè)最簡單的例子,智能手機(jī)一般都裝有g(shù)ps芯片,即使關(guān)機(jī)了也可以定位。 張海春博士看著電腦上運(yùn)行的數(shù)據(jù),膀激動(dòng)的說:“好啊…好!實(shí)在是太好了!” 陳序面帶笑容說:“還是差了點(diǎn)!不過差不多到極限了,想達(dá)到10nm的制備工藝,只能從硬件上想辦法了?!?/br> “已經(jīng)非常厲害了……” 現(xiàn)場(chǎng)工程師個(gè)個(gè)都以崇拜的眼神看著陳序。 很快smee的董事長孫立群,以及魯嘉榮博士都是聞?dòng)嵹s來,看到運(yùn)行數(shù)據(jù)都是興奮的恨不得手舞足蹈。 “實(shí)在是太好了!”孫立群說著朝實(shí)驗(yàn)室大門口跑去了,看樣子是去打電話給上級(jí)部門報(bào)喜了。 魯嘉榮博士激動(dòng)到眼淚都下來了,緊緊摟著陳序的肩膀,看著模擬機(jī)上高速運(yùn)轉(zhuǎn)的工件臺(tái),語無倫次道:“陳工……你…好啊……”