第101節(jié)
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換句話說,光刻機(jī)所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。 盛明安:“用硅和鉬反復(fù)鍍膜,直到光線利用率達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)?!?/br> 當(dāng)下有?人反駁:“都是?納米級(jí)鍍膜,反復(fù)鍍膜也會(huì)影響精度,工藝太難了?!” 難度多大? 最淺顯易懂的比喻便是?將一面直徑不?超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地面,其平面起伏不?能超過一根頭發(fā)的直徑。 而光刻機(jī)所需的反射鏡多達(dá)四五十層,平面精度一層比一層要求更平整。 全球只有?德國(guó)蔡司這家傳承三?代?以上的企業(yè)才造得出這種反射鏡。 當(dāng)然,反射鏡不?對(duì)華出口。 盛明安:“不?用擔(dān)憂反射鏡能不?能被打磨出來,你們只需要盡己所能考慮反射鏡在光的收集和轉(zhuǎn)化率這一單元里,能夠被如何利用到極致。” “數(shù)據(jù)、模型,不?管失敗成功,統(tǒng)統(tǒng)記錄下來?!?/br> 盛明安語速打機(jī)關(guān)槍似的,斬釘截鐵、不?容置喙,仿佛難度高到爆表的光源系統(tǒng)在他眼里層次分明、井然有?序,所有?的技術(shù)難點(diǎn)都可以被輕松解決。 他胸有?成竹,心有?溝壑。 他不?必開口安慰,只要用平淡輕松的口氣下達(dá)每一道指令就能安定實(shí)驗(yàn)室每個(gè)?人退怯、不?自信的心。 “杜頌,打開你的modelica先進(jìn)?行?初步的超精密激光器建模仿真?!?/br> modelica是?一款可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的物理系統(tǒng)仿真建模的計(jì)算機(jī)語言軟件,可用于光刻機(jī)某些超精密部件的仿真建模。 杜頌:“已在創(chuàng)建?!?/br> 他領(lǐng)著自己小組成員低頭忙碌。 “雷客,你調(diào)整一下光路結(jié)構(gòu)?!?/br> “好。”雷客示意助手打開opc(光學(xué)鄰近矯正)軟件,通過模型動(dòng)態(tài)仿真結(jié)果?計(jì)算查找表修正光與圖案。 盛明安匍匐在桌案,設(shè)計(jì)市場(chǎng)需求的激光光源,就目前的技術(shù)發(fā)展而言,光刻機(jī)激光光源仍以激光等離子體為主。 驅(qū)動(dòng)光源產(chǎn)生的碎屑數(shù)量,光譜純度,每提高一個(gè)?技術(shù)節(jié)點(diǎn)消耗的功率和產(chǎn)能……其實(shí)日前最先進(jìn)?的euv,其功率消耗大、產(chǎn)能低,再過五六年也未能完美解決這兩個(gè)?問題。 可盛明安不?清楚。 他雖不?愿用前世記憶盜竊他人成果?提前制造出國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),可前世是?他完美解決euv產(chǎn)能低的問題,因?此習(xí)慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。 以至于后來一舉攻破該技術(shù)節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)反超asml目標(biāo),實(shí)屬意料之外。 *** 15年5月份左右,國(guó)際半導(dǎo)體發(fā)生了?一件大事。 asml官網(wǎng)對(duì)外發(fā)布突破光刻機(jī)量產(chǎn)瓶頸,正式對(duì)外售出可量產(chǎn)14nm極紫外光刻機(jī)! 此舉瞬間激起千層浪,全球各界媒體報(bào)道不?休,半導(dǎo)體發(fā)燒友熱鬧得跟過年一樣紛紛發(fā)表討論。國(guó)內(nèi)貼吧、技術(shù)論壇和逼乎新帖不?斷,基本都是?討論asml這一舉措將帶來怎么?的影響。 【光刻巨人:asml真正的崛起!】 國(guó)內(nèi)科技網(wǎng)對(duì)asml的新聞標(biāo)題被搬到國(guó)內(nèi)電子發(fā)燒友論壇,論壇主搬來這標(biāo)題就已經(jīng)表明了?他對(duì)未來全球半導(dǎo)體地位的劃分認(rèn)可。 【如標(biāo)題所說,從今以后,asml是?唯一的光刻巨人!】 【佳能、尼康的時(shí)?代?消失了?,光刻機(jī)百花齊放共競(jìng)爭(zhēng)的時(shí)?代?一去不?復(fù)返,將來只有?asml一騎絕塵的身影!】 【雖然不?想承認(rèn),但歐美又在一個(gè)?重要的領(lǐng)域里實(shí)現(xiàn)了?科技霸權(quán)!】 【諸位,配合英特爾、高通今年年初發(fā)布的將于15年實(shí)現(xiàn)14nm核心處理器、年末實(shí)現(xiàn)10nm核心處理器的新聞發(fā)布會(huì)食用,而國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還停留在365nm光波長(zhǎng)的第三?代?光刻機(jī)技術(shù)節(jié)點(diǎn)!】 【拉開了?兩代?,落后二十年。】 【華國(guó)被死死扼住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的喉嚨……】 【感到窒息?!?/br> 另一個(gè)?貼沒有?這么?喪氣,但基本是?在吹asml,回顧asml的歷程,曾經(jīng)也不?過是?個(gè)?半生不?死的小公司…… 【誰還能記得曾經(jīng)的asml瀕臨倒閉?】 【那時(shí)?候的尼康和佳能才是?霸權(quán)半導(dǎo)體領(lǐng)域的大佬,可惜封殺了?臺(tái)積電林大佬的浸潤(rùn)技術(shù)emmmm結(jié)果?最后被asml撿漏?!?/br> 【asml的崛起之路從這一步開始[滑稽]?!?/br> 【命運(yùn)真是?奇妙,誰能料到最后會(huì)是?名不?見經(jīng)傳的阿斯麥爾搶先一步研發(fā)出第五代?光刻機(jī)?】 【小聲插一句,我國(guó)有?機(jī)會(huì)研發(fā)14nm光刻機(jī)嗎?】 【??asml肯賣給我們一臺(tái)euv就偷笑?了?,還自主研發(fā)?做夢(mèng)呢!】 【肯定告訴你:有?!二十年后!】 【不?過那個(gè)?時(shí)?候的半導(dǎo)體可能已經(jīng)發(fā)生翻天覆地的變化,摩爾定律失效,現(xiàn)有?的光刻機(jī)技術(shù)臻至極限不?再寸進(jìn)?,或許出現(xiàn)了?新的機(jī)器替代?光刻機(jī),量子定律取代?摩爾定律……我們?cè)俅伪凰﹂_二十年?!?/br> 【也不?必這么?悲觀,或許二十年后,華國(guó)光刻機(jī)技術(shù)實(shí)現(xiàn)超英趕美?!?/br> 【摩爾定律沒那么?輕易被取代?,你以為重新誕生一個(gè)?定律很容易?】 【盛神不?是?解決了?量子糾錯(cuò)的難題嗎?很多人深受鼓舞,投入量子課題研究。只要某個(gè)?領(lǐng)域天才成群結(jié)隊(duì)而來,天大的難題被解決也只是?時(shí)?間的問題。】 …… 【怎么?跑題了??】 【說回正題,祈禱美帝不?會(huì)一個(gè)?看?我們不?爽就對(duì)我們實(shí)行?芯片制裁吧。】 【什么?意思?】 【asml控股大頭是?美帝公司!】 藍(lán)河科技。 林成建步伐匆匆進(jìn)?入研發(fā)部的休息室,室內(nèi)盛明安和陳驚璆都在,還有?雷客、杜頌等人,他們一邊吃中午飯一邊繼續(xù)商討研究項(xiàng)目。 “看?到最新消息沒有??” 盛明安:“asml euv發(fā)布會(huì)?!?/br> “對(duì)!”林成建坐下來擦汗,接過雷客倒來的水說:“現(xiàn)在全球訂單飛向asml,一臺(tái)售價(jià)1.2億美金,訂單排到了?18年?!?/br> 光刻機(jī)工藝復(fù)雜,就算是?asml一年也只能造出十幾?臺(tái)。 “華芯的人也去下訂單。” 杜頌急問:“怎么?樣?” 盛明安不?用問也知道結(jié)果?,陳驚璆則安靜的挑出碗里的辣子雞塊規(guī)整放到一旁的飯盒蓋上,然后推給盛明安。 陳驚璆:“我不?吃辣。” 盛明安抬眼,掃了?眼他那碗幾?乎沒動(dòng)過的辣子雞,相?信了?。 辣子味道又香又麻不?嗆喉嚨,雞rou嫩滑多汁,吸收了?辣子的香味,吃起來很刺激舌尖。 盛明安很喜歡,他說:“謝謝。” 陳驚璆笑?看?著他。 對(duì)面一姑娘來回看?兩人,心想盛神跟老板太基了?吧。 林成建:“被拒絕了??!?/br> 杜頌:“艸!” 其他人心情激憤卻也無可奈何,誰讓他們的技術(shù)就是?落后人家十幾?二十年? 落后活該挨打唄。 歐美各國(guó)遵守的《瓦森納協(xié)議》就是?專門針對(duì)禁止對(duì)華輸入高階精密科學(xué)儀器和技術(shù),asml不?敢違背協(xié)議,自然拒絕對(duì)華銷售euv。 沒有?euv,他們還得從臺(tái)積電,從英特爾、高通等美帝企業(yè)那兒購(gòu)買芯片,巴巴送錢過去看?人臉色。 休息室眾人情緒低沉,盛明安察覺不?到,自顧自吃飯,吃完了?就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩,渾身通透的舒服。 第65章 星曉[12] 方案可行。 杜頌鼓起勇氣?問盛明安:“盛神,我們多久能夠研發(fā)出高階光刻機(jī)?” 盛明安:“短則一兩年,長(zhǎng)則四五年?!?/br> 杜頌失望:“這么久?!” 盛明安疑惑:“asml花六年時(shí)間才驗(yàn)證euv方案可行,之后耗費(fèi)十來?年時(shí)間才研發(fā)出可量產(chǎn)的高階光刻機(jī)。我們剛起步,難道?兩三年還不夠快?” “呃……”杜頌撓頭,不好意思的笑笑:“我太心急了??!?/br> 下一刻,他變了?臉色,著急詢問:“那我們兩三年內(nèi)能研發(fā)出國(guó)產(chǎn)14nm光刻機(jī)嗎?” 盛明安環(huán)顧在場(chǎng)眾人,這才發(fā)現(xiàn)?他們難掩焦慮和頹靡,結(jié)合他們剛才的討論?,猜出杜頌心急的原因,沉吟片刻便說道?:“華國(guó)2002年就把攻克光刻機(jī)列入863計(jì)劃,08年又啟動(dòng)了?02專項(xiàng)計(jì)劃,我們起步慢,但也有了?十幾年的沉淀和鋪墊?!?/br> 他說到此?處停下,一一看向在場(chǎng)的每個(gè)人:“相信每一個(gè)生?在這個(gè)國(guó)家的科學(xué)家,他們?nèi)匀辉谂Γ?復(fù)一日?攻克光刻機(jī)的‘八十一道?’難關(guān)。相信你們自己,你們手中的光源系統(tǒng)項(xiàng)目雖然目前看不到成?效,但你們每解決的一個(gè)小問題、一個(gè)數(shù)據(jù),都在朝高階國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的方向前進(jìn)。” 物理科研本來?就是量變引起質(zhì)變的一門學(xué)科,前人積年累月的研究,推動(dòng)人類社會(huì)一步又一步靠近真理大門,最終匯聚成?一場(chǎng)掀動(dòng)科技革命的颶風(fēng)。 “總有一天,你們現(xiàn)?在所做出的努力都會(huì)得到滿意的回報(bào)。” 其他人有些動(dòng)容,坐盛明安前面的助理姑娘小聲說:“其實(shí)我們這幾個(gè)月來?的努力不是沒成?果,至少光路結(jié)構(gòu)里各種鏡頭組件調(diào)整是越來?越熟練,也越來?越精準(zhǔn)?!?/br> 姑娘被分配到雷客小組,負(fù)責(zé)光刻機(jī)鏡頭組件光路調(diào)整。 她開了?口,大家紛紛開口,也都說自己小組負(fù)責(zé)的項(xiàng)目成?果,雖然沒有實(shí)現(xiàn)?奇跡般的大跨越,但是都有在進(jìn)步。 每個(gè)項(xiàng)目研發(fā)過程遇到的成?千上百個(gè)小問題都被他們一一解決,這么說來?,他們也不是完全沒有收獲。 這么想著,眾人低迷的情?緒逐漸高漲,互相加油打氣?。 “盛神說得對(duì)!人家asml花了?多少時(shí)間、人力和財(cái)力才造出一臺(tái)euv,我們這才哪到哪??!” “我們?cè)觳怀鰁uv,日?韓德英美也造不出來?!” “但他們買得到。” “誰跟我這兒?漲敵人威風(fēng)滅自己人士氣?的?給我掌嘴?!?/br> 說喪氣?話的同事很快被身邊人按壓在桌,眾人笑鬧了?一陣,打起精神回實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)研發(fā),至于?午休時(shí)間就算了?。